发明名称 Herstellungsverfahren für eine integrierte Schaltung mit abgelagertem Oxid.
摘要
申请公布号 DE69018420(T2) 申请公布日期 1995.10.19
申请号 DE19906018420T 申请日期 1990.11.30
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 MANOCHA, AJIT SINGH, ALLENTOWN, PENNSYLVANIA 18104, US;SINGH RANA, VIRENDRA VIR, ALLENTOWN, PENNSYLVANIA 18104, US;ROBERTS, JAMES FRANKLIN, ALLENTOWN, PENNSYLVANIA 18018, US;VELAGA, ANKINEEDU, ALLENTOWN, PENNSYLVANIA 18018, US
分类号 H01L21/316;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/54;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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