发明名称 Resist-Zusammensetzung.
摘要
申请公布号 DE69112897(D1) 申请公布日期 1995.10.19
申请号 DE1991612897 申请日期 1991.04.30
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD., OSAKA, JP 发明人 KITAO, TEIJIRO, OSAKA-FU, JP;MATSUOKA, MASARU, NARA-KEN, JP;HANAWA, RYOTARO, OSAKA-FU, JP;UETANI, YASUNORI, OSAKA-FU, JP;TAKEYAMA, NAOKI, OSAKA-FU, JP;HIOKI, TAKESHI, OSAKA-FU, JP;TAKAGAKI, HIROSHI, OSAKA-FU, JP
分类号 G03F7/022;G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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