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发明名称 Positioniervorrichtung.
摘要
申请公布号 DE3751515(D1) 申请公布日期 1995.10.19
申请号 DE19873751515 申请日期 1987.04.16
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 BOUWER, ADRIANUS G., NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 G05D3/00;B23Q1/36;B23Q1/62;B23Q5/22;B23Q5/34;B23Q17/24;G03F7/20;H05K13/00;(IPC1-7):G03B41/00;G03F9/00;B25J7/00 主分类号 G05D3/00
代理机构 代理人
主权项
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