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经营范围
发明名称
Verfahren zur Herstellung teilreduzierter Indiumoxid-Zinnoxid Targets
摘要
申请公布号
DE4413344(A1)
申请公布日期
1995.10.19
申请号
DE19944413344
申请日期
1994.04.18
申请人
LEYBOLD MATERIALS GMBH, 63450 HANAU, DE
发明人
SCHLOTT, MARTIN, DR., 63454 HANAU, DE;DAUTH, WOLFGANG, 60594 FRANKFURT, DE;KUTZNER, MARTIN, 63543 NEUBERG, DE;GEHMAN, BRUCE, DR., MORGAN HILL, CALIF., US
分类号
C04B35/628;C04B35/00;C04B35/457;C23C14/08;C23C14/34;H01L21/203;(IPC1-7):C04B35/00;B22F7/00;C03C17/245
主分类号
C04B35/628
代理机构
代理人
主权项
地址
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