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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0797566(B2)	申请公布日期	1995.10.18
申请号	JP19870069612	申请日期	1987.03.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/265;H01L21/266;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/265	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
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