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经营范围
发明名称
摘要
申请公布号
JPH0796474(B2)
申请公布日期
1995.10.18
申请号
JP19880077799
申请日期
1988.03.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/203;C30B23/08;(IPC1-7):C30B23/08
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
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