发明名称 Tri-deflection electron beam system.
摘要
申请公布号 EP0389398(B1) 申请公布日期 1995.10.18
申请号 EP19900480024 申请日期 1990.02.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DAVIS, DONALD EUGENE;HO, CECIL TZECHOR;LIEBERMAN, JON ERIK;PFEIFFER, HANS, CHRISTIAN;STURANS, MARIS ANDRIS
分类号 H01L21/027;H01J37/147;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/147;H01J37/141;H01J37/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址