| 发明名称 |
Surface analysis method and apparatus. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0350874(B1) |
申请公布日期 |
1995.10.18 |
| 申请号 |
EP19890112676 |
申请日期 |
1989.07.11 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
NINOMIYA, KEN;NISHIMATSU, SHIGERU |
| 分类号 |
G01N23/00;G01N23/227;G01Q20/02;G01Q20/04;(IPC1-7):G01N23/227 |
主分类号 |
G01N23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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