| 发明名称 |
PRODUCTION OF SUPER LATTICE MULTILAYERED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07267799(A) |
申请公布日期 |
1995.10.17 |
| 申请号 |
JP19940079729 |
申请日期 |
1994.03.24 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
KADO TETSUO;YAMAMOTO SHIGEYUKI |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B23/02;C30B29/68;H01L31/10 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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