发明名称 SINGLE CRYSTAL PULLING UP METHOD
摘要
申请公布号 JPH07267774(A) 申请公布日期 1995.10.17
申请号 JP19940064028 申请日期 1994.03.31
申请人 SUMITOMO SITIX CORP 发明人 AKASHI YOSHIHIRO;KUBO TAKAYUKI;OKAMOTO SETSUO
分类号 C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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