| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07267786(A) |
申请公布日期 |
1995.10.17 |
| 申请号 |
JP19940061149 |
申请日期 |
1994.03.30 |
| 申请人 |
TDK CORP |
发明人 |
NAGANO KATSUTO;YOSHIDA ATSUSHI |
| 分类号 |
C30B23/02;C30B23/08;H01L21/203;H01S3/06;H01S3/08;H01S5/00;(IPC1-7):C30B23/02 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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