发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH07267787(A) 申请公布日期 1995.10.17
申请号 JP19940062813 申请日期 1994.03.31
申请人 MITSUBISHI CABLE IND LTD 发明人 TADATOMO KAZUYUKI;WATABE SHINICHI;OKAGAWA HIROAKI;HIRAMATSU KAZUMASA
分类号 C30B19/00;C30B23/08;C30B25/18;C30B29/38;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/208;(IPC1-7):C30B23/08 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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