发明名称 |
PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07267787(A) |
申请公布日期 |
1995.10.17 |
申请号 |
JP19940062813 |
申请日期 |
1994.03.31 |
申请人 |
MITSUBISHI CABLE IND LTD |
发明人 |
TADATOMO KAZUYUKI;WATABE SHINICHI;OKAGAWA HIROAKI;HIRAMATSU KAZUMASA |
分类号 |
C30B19/00;C30B23/08;C30B25/18;C30B29/38;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/208;(IPC1-7):C30B23/08 |
主分类号 |
C30B19/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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