APARATO GENERADOR DE PLASMA MEJORADO, DE ONDA DE RADIOFRECUENCIA, DEL TIPO DE CAVIDAD COAXIAL.

摘要

SE DESCRIBE UN APARATO COAXIAL DE PLASMA REPRODUCTOR DE ONDA DE RADIOFRECUENCIA CON UNA CAVIDAD (10) METALICA ALARGADA QUE TIENE UNA SONDA MOVIL (16) ALARGADA DE ACOPLAMIENTO, MONTADA EN LINEA CON UN EJE (A-A) DE LA CAVIDAD, QUE TIENE UN CONDUCTOR (11) COAXIAL CENTRAL Y QUE TIENE UNA PLACA (12) MOVIL PARA OBTENER UN MODO DE RESONANCIA DE LA ONDA DE RADIOFRECUENCIA EN LA CAVIDAD QUE RODEA UNA CAMARA (14) PARA CONFINAR EL PLASMA. UN EXTREMO (11B) DEL CONDUCTOR ES ADYACENTE A LA CAMARA Y PUEDE SOPORTAR OPCIONALMENTE UN GRUPO DE MAGNETOS (27). EL APARATO SE USA PARTICULARMENTE PARA RETROAJUSTE DE FUENTES (101) DE VACIO EXISTENTES QUE TIENEN PEQUEÑAS PUERTAS (105) DE ENTRADA PARA TRATAMIENTO DE PLASMA UTILIZANDO HACES MOLECULARES EPITAXIALES.FIG 1.