摘要 |
CELULA DE EFUSION DE FOSFORO PARA EPITAXIA DE HACES MOLECULARES. CONSISTE EN UN RECIPIENTE, DONDE SE PRODUCEN POR SUBLIMACION DE FOSFORO ROJO LOS VAPORES DE ESTE ELEMENTO. CERRADO MEDIANTE UNA VALVULA ESTANCA AL VACIO QUE REGULA SU FLUJO. EN EL RECIPIENTE EXISTEN DOS ZONAS CON TEMPERATURAS DIFERENTES, UNA DE SUBLIMACION DE FOSFORO ROJO Y OTRA DE CONDENSACION Y REEVAPORACION DE FOSFORO BLANCO, ESTANDO AMBAS ZONAS AISLADAS TERMICAMENTE MEDIANTE PANTALLAS REFLECTORAS QUE EVITAN QUE LA TEMPERATURA DE LA RESISTENCIA DE CALEFACCION TENGA QUE ALCANZAR TEMPERATURAS SUPERIORES A LOS 350GC. LA VALVULA, CUYO CIERRE INTERMITENTE REGULA LA EFUSION DE VAPORES DE FOSFORO, SE ENCUENTRA A UNA TEMPERATURA LIGERAMENTE SUPERIOR A LA DE LA ZONA TERMOSTATIZADA DE CONDENSACION-REEVAPORACION DE FOSFORO BLANCO ES DE APLICACION EN LA FABRICACION DE ESTRUCTURAS SEMICONDUCTORAS.
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