| 摘要 |
본 발명은 적외선 어레이센서 제조방법에 관한 것으로, 적외선 어레이센서의 실리콘필터 제작시 이방성에칭을 통하여 정밀한 가이드 모양을 만듦으로써 적외선이 원하는 방향에만 입사되어 인체검지에 필요한 파장만 통과하도록 하는 필터의 역할을 할 수 있도록 한 실리콘필터겸 가이드 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 실리콘웨이퍼 양면에 절연층을 형성하는 단계와, 상기 절연층을 포토리소그래피공정에 의해 패터닝하여 소정의 절연층패턴을 형성하는 단계, 상기 절연층패턴을 필터부와 가이드부를 형성하는 단계, 상기 절연층패턴을 제거하는 단계, 상기 실리콘웨이퍼의 필터부에 반사방지막을 코팅하는 단계, 상기 실리콘웨이퍼의 가이드부에 금속박막을 코팅하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 적외선 어레이센서 제조방법을 제공한다. |
