发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN DÜNNSCHICHT-WELLENLEITERS AUS TIO2.
摘要
申请公布号 AT128774(T) 申请公布日期 1995.10.15
申请号 AT19920119239T 申请日期 1992.11.11
申请人 SCHOTT GLASWERKE 发明人 HEMING, MARTIN, DR.;HOCHHAUS, ROLAND;OTTO, JUERGEN, DR.;PAQUET, VOLKER
分类号 C23C4/12;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/515;G02B6/13;G02B6/132;(IPC1-7):G02B6/12 主分类号 C23C4/12
代理机构 代理人
主权项
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