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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN DÜNNSCHICHT-WELLENLEITERS AUS TIO2.
摘要
申请公布号
AT128774(T)
申请公布日期
1995.10.15
申请号
AT19920119239T
申请日期
1992.11.11
申请人
SCHOTT GLASWERKE
发明人
HEMING, MARTIN, DR.;HOCHHAUS, ROLAND;OTTO, JUERGEN, DR.;PAQUET, VOLKER
分类号
C23C4/12;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/515;G02B6/13;G02B6/132;(IPC1-7):G02B6/12
主分类号
C23C4/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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