| 发明名称 |
LIGHTING OPTICAL SYSTEM FOR PROJECTION ALIGNER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07263313(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
| 申请号 |
JP19940051609 |
申请日期 |
1994.03.23 |
| 申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
UEHARA YASUHIRO;OHASHI ICHIJI |
| 分类号 |
G02B27/42;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G02B27/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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