发明名称 |
MANUFACTURE OF ALGAAS CRYSTAL, SEMICONDUCTOR LASER AND HBT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07263813(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
申请号 |
JP19940055532 |
申请日期 |
1994.03.25 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MIYASHITA MUNEHARU;KINETSUKI HIROTAKA |
分类号 |
H01L21/20;C30B25/02;H01L21/205;H01L21/331;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/323;(IPC1-7):H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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