发明名称 MANUFACTURE OF ALGAAS CRYSTAL, SEMICONDUCTOR LASER AND HBT
摘要
申请公布号 JPH07263813(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940055532 申请日期 1994.03.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIYASHITA MUNEHARU;KINETSUKI HIROTAKA
分类号 H01L21/20;C30B25/02;H01L21/205;H01L21/331;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/323;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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