| 发明名称 |
INTERATOMIC FORCE DETECTING MECHANISM AND INTERATOMIC FORCE DETECTING SCANNING NEAR-FIELD MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07260805(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
| 申请号 |
JP19940052249 |
申请日期 |
1994.03.23 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
MURAMATSU HIROSHI;CHIBA TOKUO |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/63;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q20/02;G01Q60/18;G01Q60/24;G01Q60/32;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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