| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE, INSPECTION METHOD AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07260873(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
| 申请号 |
JP19940049059 |
申请日期 |
1994.03.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU QUANTUM DEVICE KK |
发明人 |
HOSAKA YOJI;KOMATSUBARA SATOO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;H01L27/15;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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