发明名称 AGING METHOD, AGING BOARD USED THEREFOR, MOUNTING METHOD AND MOUNTING BOARD USED THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07263500(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940049361 申请日期 1994.03.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 UDA TAKAYUKI;SATO TOSHIHIKO;HAYASHIDA TETSUYA
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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