FORMATION OF REFLECTION PREVENTING FILM,申请号JP19940055620-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	FORMATION OF REFLECTION PREVENTING FILM
摘要
申请公布号	JPH07263317(A)	申请公布日期	1995.10.13
申请号	JP19940055620	申请日期	1994.03.25
申请人	SUMITOMO METAL IND LTD	发明人	HARADA MUNEO
分类号	G03F7/11;C23C16/08;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/11
代理机构		代理人
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