发明名称 |
MEASURING METHOD FOR DIMER DENSITY OF OUTER SURFACE OF SEMICONDUCTOR AND ITS ORGANIC METAL VAPOR PHASE GROWTH METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07263512(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
申请号 |
JP19940055740 |
申请日期 |
1994.03.25 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KOBAYASHI YASUYUKI;KOBAYASHI NAOKI |
分类号 |
G01N21/00;G01N21/21;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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