| 发明名称 |
FOREIGN OBJECT INSPECTION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07260700(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
| 申请号 |
JP19940049360 |
申请日期 |
1994.03.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
ARAKAWA HISASHI;KITANO MANABU |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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