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发明名称 BUCKET TYPE ION SOURCE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07262948(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940053466 申请日期 1994.03.24
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 TAWARA HIDEAKI
分类号 C23C14/48;H01J27/14;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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