| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURE THEREOF AND MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07263624(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
| 申请号 |
JP19940047044 |
申请日期 |
1994.03.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
SAITO NOBORU;HANEDA MITSUAKI;KUMAZAWA TETSUO;KAWAI SUEO;MASUDA MASACHIKA;WADA TAMAKI |
| 分类号 |
H01L25/18;H01L25/10;H01L25/11;(IPC1-7):H01L25/10 |
主分类号 |
H01L25/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
