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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH07262957(A)
申请公布日期
1995.10.13
申请号
JP19940056512
申请日期
1994.03.28
申请人
HORON:KK
发明人
ANAZAWA NORIMICHI
分类号
H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/22
主分类号
H01J37/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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