| 发明名称 |
FORMATION OF MICROCRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07263346(A) |
申请公布日期 |
1995.10.13 |
| 申请号 |
JP19940047441 |
申请日期 |
1994.03.17 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
UEDA TAKASHI;AKIYAMA MASAHIRO;YAMAICHI EIJI;YAMAGISHI NAGAYASU |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B29/40;C30B29/48;H01L21/205;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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