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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH07263711(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940050794 申请日期 1994.03.22
申请人 TOYOTA MOTOR CORP 发明人 SUGIMOTO MASAHIRO
分类号 G01P15/125;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人
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