发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH07263535(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19940049018 申请日期 1994.03.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO NORIAKI;ISHIGAKI TORU
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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