发明名称 MANUFACTURE OF SOLID-STATE IMAGING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07263654(A) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 JP19950067365 申请日期 1995.03.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIROSE HIDEYUKI;HINOSUGI MITSURU;KOMATANI MASATOSHI;SASAKI HARUO
分类号 G03F7/16;H01L21/027;H01L27/14;(IPC1-7):H01L27/14 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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