申请人 |
ZENTRUM FUER ANGEWANDTE MIKROELEKTRONIK UND NEUE TECHNOLOGIEN DER BAYERISCHEN FACHHOCHSCHULEN (ZAM) E.V., 91058 ERLANGEN, DE |
发明人 |
POISEL, HANS, PROF. DR., 91227 LEINBURG, DE;LEICHT, JUERGEN, 90614 AMMERNDORF, DE;KODL, GEORG, DIPL.-ING., 90403 NUERNBERG, DE;MUELLER, WERNER, 90522 OBERASBACH, DE |