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发明名称 Bildbearbeitungsapparat und Verfahren zur Inspektion von Fehlern von Halbleiterbehältern.
摘要
申请公布号 DE68924092(D1) 申请公布日期 1995.10.12
申请号 DE19896024092 申请日期 1989.05.10
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 OZAKI, TAKAYUKI C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01R31/26;G01R31/265;H01L21/56;H01L21/66;(IPC1-7):G06T7/40 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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