发明名称 |
Vorrichtung zum Halten, für den Transport und für die Bearbeitung eines flachen, kreisscheibenförmigen Substrats |
摘要 |
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申请公布号 |
DE29512381(U1) |
申请公布日期 |
1995.10.12 |
申请号 |
DE1995212381U |
申请日期 |
1995.08.01 |
申请人 |
LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE |
发明人 |
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分类号 |
B65G47/91;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 |
主分类号 |
B65G47/91 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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