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发明名称
Verfahren zur Herstellung einer dynamischen Speicherzelle mit wahlfreiem Zugriff.
摘要
申请公布号
DE69018839(T2)
申请公布日期
1995.10.12
申请号
DE19906018839T
申请日期
1990.01.15
申请人
NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
KOTAKI, HIROSHI, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP
分类号
H01L27/10;H01L21/311;H01L21/321;H01L21/334;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
H01L27/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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