发明名称 Verfahren zur Herstellung einer dynamischen Speicherzelle mit wahlfreiem Zugriff.
摘要
申请公布号 DE69018839(T2) 申请公布日期 1995.10.12
申请号 DE19906018839T 申请日期 1990.01.15
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KOTAKI, HIROSHI, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP
分类号 H01L27/10;H01L21/311;H01L21/321;H01L21/334;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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