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发明名称 Piezoelektrischer Antrieb.
摘要
申请公布号 DE69109990(T2) 申请公布日期 1995.10.12
申请号 DE1991609990T 申请日期 1991.10.07
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 INOUE, YOSHIKI, MINATO-KU, TOKYO, JP;UEHARA, KANEO, MINATO-KU, TOKYO, JP;OCHI, ATSUSHI, MINATO-KU, TOKYO, JP
分类号 H01L41/083;(IPC1-7):H01L41/08 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
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