发明名称 激光照射装置
摘要 一种激光照射装置,它备有:激光源1,用来搅乱由激光源1发出的激光1a的相位的滤光片14及/或光纤16,和将激光1a分解成小面积的光束后叠加形成预定形状的光束的光束形成手段13,这样,激光1a由于被搅乱了相位,即使叠加也不会产生干涉条纹。从而能获得能量强度分布均匀的激光照射。
申请公布号 CN1110006A 申请公布日期 1995.10.11
申请号 CN95100146.9 申请日期 1995.01.20
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 近藤昌树;前川茂树
分类号 H01L21/324;B23K26/00;G02B26/00;G02F1/00 主分类号 H01L21/324
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 孙敬国
主权项 1、一种激光照射装置,其特征在于,备有:激光源,搅乱激光源输出激光相位的相位搅乱手段,和将激光分解成小面积的光束,后叠加形成预定形状的光束的光束形成手段。
地址 日本大阪府