发明名称 | 激光照射装置 | ||
摘要 | 一种激光照射装置,它备有:激光源1,用来搅乱由激光源1发出的激光1a的相位的滤光片14及/或光纤16,和将激光1a分解成小面积的光束后叠加形成预定形状的光束的光束形成手段13,这样,激光1a由于被搅乱了相位,即使叠加也不会产生干涉条纹。从而能获得能量强度分布均匀的激光照射。 | ||
申请公布号 | CN1110006A | 申请公布日期 | 1995.10.11 |
申请号 | CN95100146.9 | 申请日期 | 1995.01.20 |
申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 近藤昌树;前川茂树 |
分类号 | H01L21/324;B23K26/00;G02B26/00;G02F1/00 | 主分类号 | H01L21/324 |
代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 孙敬国 |
主权项 | 1、一种激光照射装置,其特征在于,备有:激光源,搅乱激光源输出激光相位的相位搅乱手段,和将激光分解成小面积的光束,后叠加形成预定形状的光束的光束形成手段。 | ||
地址 | 日本大阪府 |