发明名称 INTERCONNECTION STRUCTURE FOR INTEGRATED CIRCUITS AND METHOD FOR MAKING SAME.
摘要
申请公布号 EP0664925(A4) 申请公布日期 1995.10.11
申请号 EP19930923359 申请日期 1993.10.12
申请人 LEEDY, GLENN J. 发明人 LEEDY, GLENN J.
分类号 H01L29/41;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/28;G03F7/20;H01L21/60;H01L21/66;H01L23/12;H01L23/498;(IPC1-7):H01L23/48;H01L29/44;H01L29/52;H01L29/60;H01L29/46;H01L29/62 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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