发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR950011563(B1) 申请公布日期 1995.10.06
申请号 KR19910021213 申请日期 1991.11.26
申请人 TOSHIBA CORP. 发明人 YANO, HIROYUKI;HORIUCHI, KEIJI;OKANO, HARUO;WATANABE, TORU
分类号 G03F7/00;H01L21/027;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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