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发明名称 Chemische Abscheidemethoden unter Verwendung überkritischer Lösungen.
摘要
申请公布号 DE69107656(T2) 申请公布日期 1995.10.05
申请号 DE19916007656T 申请日期 1991.03.26
申请人 UNIVERSITY OF COLORADO FOUNDATION, INC., BOULDER, COL., US 发明人 SIEVERS, ROBERT E., BOULDER, COLORADO 80304, US;HANSEN, BRIAN N., BOULDER, COLORADO 80303, US
分类号 C23C16/44;B05D1/02;C23C16/448;H01L39/24;(IPC1-7):C23C16/44;C23C18/00;C23C16/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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