| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum gleichmässigen Abtragen einzelner oder mehrerer Schichten einer beschichteten Oberfläche mit einem gepulsten Laser, dessen Laserpuls-Strahlung mittels eines Strahl-Formers jeweils einen Ausschnitt vorgegebenen Querschnitts der Oberfläche beleuchtet, wobei mit der Laserpuls-Strahlung die Oberfläche zeilenweise so abgetastet wird, dass jede Flächeneinheit der Oberfläche, in Zeilenrichtung gesehen, die gleiche Anzahl von Laserpulsen erhält. Damit auch die Randzonen jeder beleuchteten Zeile dieselbe Anzahl von Laserpulsen pro Flächeneinheit erhält wie die Zentralzone jeder Zeile, schliessen sich an den zentralen Bereich des Ausschnitts je ein Randbereich mit spitz nach aussen zulaufender Fläche an. Dabei ergänzen sich die beiden, einander gegenüberliegenden Randbereiche zu einer Gesamtfläche, deren Breite der Breite des Zentralbereichs des Ausschnitts, in Abtastrichtung der Laserpuls-Strahlung gemessen, entspricht.</p> |
