发明名称 METAL VAPOUR DEPOSITION UNIT.
摘要
申请公布号 EP0674804(A1) 申请公布日期 1995.10.04
申请号 EP19940931068 申请日期 1994.10.17
申请人 PIXEL INTERNATIONAL S.A. 发明人 PEPI, RICHARD;GARCIA, MICHEL;MEYER, ROBERT
分类号 C23C14/34;C23C14/56;H01J9/02;H01J9/46;H01L21/203;(IPC1-7):H01J9/46 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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