发明名称 Method of making an optical thin film waveguide of TiO2.
摘要
申请公布号 EP0542210(B1) 申请公布日期 1995.10.04
申请号 EP19920119239 申请日期 1992.11.11
申请人 SCHOTT GLASWERKE;CARL-ZEISS-STIFTUNG 发明人 HEMING, MARTIN, DR.;HOCHHAUS, ROLAND;OTTO, JUERGEN, DR.;PAQUET, VOLKER
分类号 C23C16/50;C23C4/12;C23C16/40;C23C16/511;C23C16/515;G02B6/13;G02B6/132;(IPC1-7):G02B6/12 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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