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发明名称 Verfahren zum Anpressen von Abdeckmasken an Halbleiterplatten zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 DE1160107(B) 申请公布日期 1963.12.27
申请号 DE1961J019530 申请日期 1961.03.04
申请人 INTERMETALL GESELLSCHAFT FUER METALLURGIE UND ELEKTRONIK M.B.H. 发明人 GERSTNER DR. DIETER;WIRTH ANTON
分类号 H01L21/00;H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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