| 发明名称 |
FORMATION OF DIELECTRIC THIN FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07252658(A) |
申请公布日期 |
1995.10.03 |
| 申请号 |
JP19940044175 |
申请日期 |
1994.03.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TANDA TETSUSHI;SATAKE TETSUYA;NISHIMURA HIROYUKI;ADACHI HIROSHI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;H01B3/00;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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