发明名称 PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07252629(A) 申请公布日期 1995.10.03
申请号 JP19940047500 申请日期 1994.03.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIMAMURA MASAKI;ISHIZU HIDEHIKO;ISHIDA RYOICHI
分类号 C23C4/00;(IPC1-7):C23C4/00 主分类号 C23C4/00
代理机构 代理人
主权项
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