| 发明名称 |
PRODUCTION OF LOAD CONVERTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07252652(A) |
申请公布日期 |
1995.10.03 |
| 申请号 |
JP19940071387 |
申请日期 |
1994.03.15 |
| 申请人 |
ISHIDA CO LTD |
发明人 |
NAITO KAZUFUMI;UTSUNOMIYA MICHITO;KAMIJO EIJI |
| 分类号 |
G01L1/22;C23C14/34;C23C14/46;H01L21/203;H01L29/84;(IPC1-7):C23C14/46 |
主分类号 |
G01L1/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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