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发明名称
OPTICAL ENCODER
摘要
申请公布号
JPH07253334(A)
申请公布日期
1995.10.03
申请号
JP19940070037
申请日期
1994.03.15
申请人
NIKON CORP
发明人
TSUBURAYA NORIO;SUZUKI YASUO
分类号
G01D5/36;G01D5/244;G01D5/245;(IPC1-7):G01D5/36
主分类号
G01D5/36
代理机构
代理人
主权项
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