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发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH07252641(A)
申请公布日期
1995.10.03
申请号
JP19940039682
申请日期
1994.03.10
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TAKAUCHI HIDENORI
分类号
C23C14/28;H01L21/203;H01L21/22;(IPC1-7):C23C14/28
主分类号
C23C14/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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