| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07252660(A) |
申请公布日期 |
1995.10.03 |
| 申请号 |
JP19940181857 |
申请日期 |
1994.07.11 |
| 申请人 |
RIKAGAKU KENKYUSHO |
发明人 |
KUMAGAI HIROSHI;TOYODA KOICHI |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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